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制作单晶柱或晶圆用的机器及设备进口量略有动摇，2017-2018年进口量上升，2019年呈现下降，2020年开端康复上升，同比增加47.9%，2021年2022年1-3月我国制作单晶柱或晶圆用的机器及设备进口量1081台，同比增加12.3%。
从金额方面来看，2017-2019年我国制作单晶柱或晶圆用的机器及设备进口金额逐年上涨，2020年呈现下降，2021年进口金额增加。最新多个方面数据显现，2022年1-3月我国制作单晶柱或晶圆用的机器及设备进口金额533.4百万美元，同比增加113.2%。
2022年1-3月我国制作单晶柱或晶圆用的机器及设备进口量及金额增加状况
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